求教各位前辈，目前先进制程中的刻蚀膜层都有哪些，分别有什么样的要求等知识点

野兕 · 发表于 2022-6-30 16:26:46

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求教各位前辈，小弟初入芯片行业，想研究下刻蚀工艺，特向各位请教。目前生产的logic芯片先进制程中，首先想了解有哪些膜层，听说有20多层的，还有形成这些膜层时经过刻蚀工艺的都有哪些呢？一般是会刻蚀成什么形状呢？

器件小辣鸡 · 发表于 2023-4-27 11:41:57

你主要看等离子反应刻蚀吧，现在基本上都是用的这种干法刻蚀

LeeShihao · 发表于 2023-5-6 11:17:43

ETCH一般和Photo工艺结合，你说的20多层应该是mask层数吧。刻蚀后的形状要看在哪一步工艺

野兕 · 发表于 2023-7-7 10:11:40

多谢各位指点！入行一年多学到了很多，感谢！

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