SMIC28nm P4 layer

osytyjih · 发表于 2022-3-16 20:48:11

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请教大神：SMIC28nm中，P4 layer是什么，有什么用？我看好像所有PMOS都有这一层。
DRC rule写的是

，不太明白

初见 · 发表于 2022-3-17 16:29:18

结合工艺和解释，应该是蚀刻掉多晶poly

jenyusir · 发表于 2022-3-17 17:35:31

这层应该是要把多晶硅remove掉（刻蚀工艺）。因为是HKMG，remove掉多晶硅，然后在里面填HK材料和钨

osytyjih · 发表于 2022-3-18 09:52:50

感谢~

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