MIM电容下走金属线可以吗？

蛋zizi · 发表于 2022-2-8 09:46:23

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MIM电容底层金属层为M3 下面走M2电源线
会产生什么效应？？有什么影响？？
电容为滤波性质的电容底层接GND

vermoth · 发表于 2022-2-8 10:33:26

一般来说不是射频线或者敏感信号线都可以走的

kevin531904 · 发表于 2022-2-8 10:43:48

你是对GND滤波，考虑下寄生电容有多大？电源线是否比较干净

osytyjih · 发表于 2022-2-8 11:01:40

底层金属是M3的话，您确定是MIM电容，而不是MOM电容嘛

蛋zizi · 发表于 2022-2-8 11:44:45

高雅Gloria 发表于 2022-2-8 11:01
底层金属是M3的话，您确定是MIM电容，而不是MOM电容嘛

MIM电容工艺就这样

tylxy0033 · 发表于 2022-2-8 16:22:01

本质加一个电源对地的电容嘛，算个容值告诉电路，问他能不能接受。

qkyang · 发表于 2022-2-8 17:30:53

高雅Gloria 发表于 2022-2-8 11:01
底层金属是M3的话，您确定是MIM电容，而不是MOM电容嘛

他用到mim电容，是不是就表示对容值要求比较高。

osytyjih · 发表于 2022-2-9 08:57:43

qkyang 发表于 2022-2-8 17:30
他用到mim电容，是不是就表示对容值要求比较高。

我是觉得MIM电容是最顶层的两层金属，现在一般不会有顶层是M3或者M4的制程吧

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