衬底环的poly length如何选择？

prince之风 · 发表于 2021-12-23 17:22:10

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管子外围的衬底环，其poly宽度如何选择？跟内部的管子保持一致还是有什么特殊的要求？求大神解惑，谢谢！

313949724 · 发表于 2021-12-24 08:57:59

nice, thank you so mush.

489315174 · 发表于 2021-12-24 09:06:32

能保持一致是最好的

prince之风 · 发表于 2021-12-24 09:59:55

489315174 发表于 2021-12-24 09:06
能保持一致是最好的

有的管子poly length比较小，例如T7里边1.8V 30nm的管子，而衬底环因为要覆盖OD_18这个层次，环上的poly length至少要86nm才行，这种情况下该如何选择poly length？

489315174 · 发表于 2021-12-24 10:42:52

prince之风发表于 2021-12-24 09:59
有的管子poly length比较小，例如T7里边1.8V 30nm的管子，而衬底环因为要覆盖OD_18这个层次，环上的poly ...

为什么要盖OD_18?

prince之风 · 发表于 2021-12-24 11:34:41

489315174 发表于 2021-12-24 10:42
为什么要盖OD_18?

1.8v的管子衬底环的VT层就要把OD_18打开，与_svt的nmos管围的环要把VT层选择VTS_N类似，而打开OD_18的话，衬底poly length就至少要86nm

tosayes · 发表于 2021-12-24 14:20:36

能保持一致就保持一致，这样会比较整齐。如果不一致也没有关系，只要管子边上的poly length一致就行了。

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