查看项目制成中metal scheme 中1P6M0T1U中的0T是什么意思

Zel · 发表于 2020-12-4 09:58:57

小马哥爱逛 · 发表于 2020-12-4 10:10:40

0T就是没有用到这一厚度的金属

wojiaomeitounao · 发表于 2020-12-4 10:56:37

1层poly6层（1X）薄金属0层厚金属（包括T2MX、T4MX、T8MX）1层UTM

Zel · 发表于 2020-12-4 11:16:34

wojiaomeitounao 发表于 2020-12-4 10:56
1层poly6层（1X）薄金属0层厚金属（包括T2MX、T4MX、T8MX）1层UTM

请问1U是ME6上一层的厚度嘛？UTM的全称是什么呢？感谢。

wojiaomeitounao · 发表于 2020-12-7 08:51:53

Zel 发表于 2020-12-4 11:16
请问1U是ME6上一层的厚度嘛？UTM的全称是什么呢？感谢。

对的，在你这个制程中，UTM是ME6的上一层。UTM全称Ultra thick metal

ICnovice · 发表于 2024-2-21 14:04:54

mark

wesley_wan · 发表于 2024-2-21 15:43:11

UMC 工艺thick metal 有 T (2x). H(6x). A(8x) . UM(ultra thick) 6M0T1U意思是M1~M5是1xmetal,M6是UTM

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