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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog Layout（版图） › Layout讨论区 › 海力士 0.18 BCD工艺，HFP层次的作用？
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楼主: 冰哥

[讨论] 海力士 0.18 BCD工艺，HFP层次的作用？

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xdgua
发表于 2022-7-26 16:33:56 | 显示全部楼层
HTO Field plate (HFP) RESURF (reduced surface field) technology for High Performance HV devices. (increase the
breakdown voltage and improve the on resistance of DEMOS and LDMOS)
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tom_tao
发表于 2022-8-4 16:30:30 | 显示全部楼层
对准用的，类似DB工艺中的zero层
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Zhao_W
发表于 2023-7-5 13:48:07 | 显示全部楼层
工艺文档传一下
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