在画电容layout时，unit cap修成45度角是出于什么目的考虑呢

xinleiye · 发表于 2016-12-14 20:09:50

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AcoAco · 发表于 2016-12-14 23:10:21

为了防止90度锋利边缘，这些蚀刻更快。并导致更大的过程匹配误差。

xuriver2012 · 发表于 2016-12-15 09:42:15

2楼对的。实际光照和刻蚀工艺会造成90度角变成一个圆角，所以画Layout的时候就做成一个钝角有利于Matching

xinleiye · 发表于 2016-12-15 13:11:40

回复 2# AcoAco
那一般修角的长度怎么确定呢？

xinleiye · 发表于 2016-12-15 13:14:38

本帖最后由 xinleiye 于 2016-12-15 13:19 编辑

回复 3# xuriver2012
这个引入的失配应该很小吧,是不是在匹配精度要求很高的情况下才有意义

AcoAco · 发表于 2016-12-15 17:16:35

回复 4# xinleiye

我可以给你一个线索

完美的圆形形状匹配远优于正方形或矩形形状。
制作形状的拐角，使形状接近圆形。

xinleiye · 发表于 2016-12-16 19:39:34

回复 6# AcoAco
我体会体会，谢谢指导~~

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