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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog Layout（版图） › Layout讨论区 › Metal dummy
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查看: 5155|回复: 9

[求助] Metal dummy

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allin1989
发表于 2015-10-30 13:57:06 | 显示全部楼层 |阅读模式
3资产
请问layout中的Metal dummy是什么作用？为什么有些版图里有有些没有呢？

最佳答案

kopzinc

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补充metal density的，仔细看下rule，对于metal都有max和min density要求情况。density对于良率有影响--- 版图没有的可能： 1、没看顶层，在顶层加的dummy。 2、本身加了很多mom电容之类的器件，density够。 3、工艺太老对于density要求不高，或者drc rule写的有问题，没查出来，就没有加。
layout

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kopzinc
发表于 2015-10-30 13:57:07 | 显示全部楼层
补充metal density的，仔细看下rule，对于metal都有max和min density要求情况。density对于良率有影响---

版图没有的可能：
1、没看顶层，在顶层加的dummy。
2、本身加了很多mom电容之类的器件，density够。
3、工艺太老对于density要求不高，或者drc rule写的有问题，没查出来，就没有加。
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weiyang3
发表于 2015-10-30 17:21:28 | 显示全部楼层
dummy metal实际就是同层的metal。
metal密度过低或过高，会影响CMP等使良率下降。
原因，楼上已经回答了。
补充一点，有些关键的cell会被要求盖上Dummy Block Layer，防止Tool自动补上dummy。
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xiuqi180
发表于 2015-10-30 17:23:16 | 显示全部楼层
学习了
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supericeman999
发表于 2015-10-30 17:50:38 | 显示全部楼层
良率有影
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发表于 2015-11-6 14:58:47 | 显示全部楼层
我们这边的metal dummy都是为了下次改版的时候用的，就是提前占用通道.
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lzq11878
发表于 2015-11-6 15:45:36 | 显示全部楼层
metal density
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版图漫游者
发表于 2015-11-8 11:23:51 | 显示全部楼层
1、改善平坦化2、减小曝光误差
3、减小由于刻蚀时间以及终端检测所带来的误差（书上名词：负载效应）
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kokoyou98
发表于 2023-1-28 18:14:48 | 显示全部楼层
Pretty good, thank you for the sharing
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kokoyou98
发表于 2023-1-28 18:16:56 | 显示全部楼层
Pretty good, thank you for the sharing
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