Metal dummy

allin1989 · 发表于 2015-10-30 13:57:06

请问layout中的Metal dummy是什么作用？为什么有些版图里有有些没有呢？

kopzinc · 发表于 2015-10-30 13:57:07

补充metal density的，仔细看下rule，对于metal都有max和min density要求情况。density对于良率有影响---

版图没有的可能：
1、没看顶层，在顶层加的dummy。
2、本身加了很多mom电容之类的器件，density够。
3、工艺太老对于density要求不高，或者drc rule写的有问题，没查出来，就没有加。

weiyang3 · 发表于 2015-10-30 17:21:28

dummy metal实际就是同层的metal。
metal密度过低或过高，会影响CMP等使良率下降。
原因，楼上已经回答了。
补充一点，有些关键的cell会被要求盖上Dummy Block Layer，防止Tool自动补上dummy。

xiuqi180 · 发表于 2015-10-30 17:23:16

学习了

supericeman999 · 发表于 2015-10-30 17:50:38

良率有影

西门吹雪cmosqwe · 发表于 2015-11-6 14:58:47

我们这边的metal dummy都是为了下次改版的时候用的，就是提前占用通道.

lzq11878 · 发表于 2015-11-6 15:45:36

metal density

版图漫游者 · 发表于 2015-11-8 11:23:51

1、改善平坦化2、减小曝光误差
3、减小由于刻蚀时间以及终端检测所带来的误差（书上名词：负载效应）

kokoyou98 · 发表于 2023-1-28 18:14:48

Pretty good, thank you for the sharing

kokoyou98 · 发表于 2023-1-28 18:16:56

Pretty good, thank you for the sharing

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