90nm 65nm 45nm 32nm 下各金属层和ILD厚度

iamqiao

一般在8KA左右，有的厂家能提供厚铝结构，这样可以达到20KA。具体参数需要看design rule或咨询厂家。

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这个太笼统了，除了线宽以外，还有气工艺的用处，例如IBG,IBLP ULL, RF 等等，这些即使其都在同一器件工艺下，他们的后端也不会完全一样。建议说仔细一点。。不然这个问题就没价值。