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楼主: chaoqunlv

[求助] SMIC.18工艺下,sio2的介电常数怎么看,为了求cox

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发表于 2016-6-29 11:15:09 | 显示全部楼层
8.854乘以10的负14次方~单位是F/cm  !!!

这是真空介电常数 不是硅的  硅的相对介电常数是11.9  二氧化硅的相对介电常数是 3.9-4.3  拉扎维课本答案里取的是3.9
发表于 2016-7-27 23:44:26 | 显示全部楼层
本帖最后由 mx673837710 于 2016-7-27 23:45 编辑

介电常数(又称电容率),以ε表示,ε=εr*ε0,ε0为真空绝对介电常数,ε0=8.85*10^(-12)F/m。[size=14.0000009536743px]εr是相对介电常数,二氧化硅的相对介电常数是3.9。
发表于 2021-8-1 17:53:46 | 显示全部楼层
和频率相关,请先确定频率
发表于 2022-12-8 15:38:40 | 显示全部楼层
楼主有.18微米工艺参数手册吗?可以发我一下吗1903168810@qq.com
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