SMIC.18工艺下，sio2的介电常数怎么看，为了求cox

luoxuanhao · 发表于 2016-6-29 11:15:09

8.854乘以10的负14次方~单位是F/cm ！！！

这是真空介电常数不是硅的硅的相对介电常数是11.9 二氧化硅的相对介电常数是 3.9-4.3 拉扎维课本答案里取的是3.9

mx673837710 · 发表于 2016-7-27 23:44:26

本帖最后由 mx673837710 于 2016-7-27 23:45 编辑

介电常数（又称电容率），以ε表示，ε=εr*ε0，ε0为真空绝对介电常数，ε0=8.85*10^(-12)F/m。[size=14.0000009536743px]εr是相对介电常数，二氧化硅的相对介电常数是3.9。

Prof.WR · 发表于 2021-8-1 17:53:46

和频率相关，请先确定频率

diulaika · 发表于 2022-12-8 15:38:40

楼主有.18微米工艺参数手册吗？可以发我一下吗1903168810@qq.com

[求助] SMIC.18工艺下，sio2的介电常数怎么看，为了求cox

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