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这个是电子科技大学上课用得课件~对应的教材为《半导体制造技术》
大家按需来下~ |
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ic_fab_tech_chap1_intro.pdf
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ic_fab_tech_chap2_wafer.pdf
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ic_fab_tech_chap3_IC_process_intro.pdf
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ic_fab_tech_chap5_depo.pdf
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ic_fab_tech_chap6_metal.pdf
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ic_fab_tech_chap7_opt1.pdf
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ic_fab_tech_chap8_opt2.pdf
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ic_fab_tech_chap9_opt3.pdf
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ic_fab_tech_chap10_etch.pdf
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ic_fab_tech_chap11_impl.pdf
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ic_fab_tech_chap12_cmp.pdf
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ic_fab_tech_chap13_packet.pdf
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ic_fab_tech_review.pdf
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发表于 2011-6-4 11:29:08
