请教一个calibre DRC的问题

rodgersli

刚开始学习数字后端，问一个弱智的问题。
我把从ENCOUNTER 出来的gds文件放进virtuoso中用calibre做DRC检查，出现很多错误：Minimum width of MTT region is 1.5。
错误的地方是第四层的金属线。我量的宽度只有0.28。
我检查了encounter用的SMIC的lef文件，里面这样写的：
          LAYER METAL4
         TYPE ROUTING ;
         WIDTH 0.280 ;
         SPACING 0.280 ;
         SPACING 0.6 RANGE 10.0 100000.0 ;
         PITCH 0.660 ;
请问是不是 WIDTH 0.280 这句引起的DRC错误啊？如果解决这个错误是不是只有把这句改成WIDTH 1.5？还有就是MTT region 的中文意思是什么呢？

55925327

太专业了吧

rodgersli

此问题已经解决。
是用错了rule file。我现在手里有两个rule file。分别是用来check MT 6 as Top Metal和check MTT 6 as Top Metal.我用了后者所以出错。
MT即Top Metal，MTT即Thick Top Metal。不过还没有搞清楚两者的区别。

sunshinell

恭喜！
一般都不会去动lef file的。很多时候可能是rule的设置出了问题的。

damonzhao

是smic的工艺吧
呵呵，MT和MTT是工艺加工时候的金属厚度的区别