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[求助] SAB层的作用以及什么情况下需要加上SAB层

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发表于 2023-1-5 11:24:22 | 显示全部楼层
引用“SAB指的是salicide block,dark层,有它的地方有遮挡,相当于加了把伞。
Salicide中文翻译过来就叫硅化物,其实是比较薄的一层金属和多晶的合金体,其主要目的是在多晶硅或者diffusion表面相对比较薄的一层上面生长出一层(或者是淀积)金属-硅的硅化物,目的是降低多晶上的电阻率。
SAB层用来阻止sailicide的生成,从而得到阻值较高的diffusion或者poly电阻。
常用在poly电阻,diffusion电阻,ESD device的 Drain端,提高其电阻和耐压。”
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