关于Design rule中digital tone?

terry8876

digital tone你可以理解为制版的区域吧，具体也不好解释。
clear，就是你画的图形是什么，它就或注入或淀积形成你画的形状。
dark，是在全wafer上形成需要的材料，再刻蚀或去掉多余的部分，剩下的是你需要的形状。
个人理解，欢迎指教。