关于Design rule中digital tone?

happyjane_999 · 发表于 2012-11-19 11:07:55

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

Design rule中遇到个词digital tone是什么意思呢？还有它分为两种clear 和dark又代表什么呢？请指教，谢谢！

terry8876 · 发表于 2012-11-19 14:17:42

digital tone你可以理解为制版的区域吧，具体也不好解释。
clear，就是你画的图形是什么，它就或注入或淀积形成你画的形状。
dark，是在全wafer上形成需要的材料，再刻蚀或去掉多余的部分，剩下的是你需要的形状。
个人理解，欢迎指教。

randysong · 发表于 2012-11-19 15:00:09

clear的区域没有数据，dark的区域你需要按照设计规则上的要求画，比如有哪些层次，每个层次的宽度等

coronaab · 发表于 2012-11-20 10:16:50

Layout数据会拿到掩模工厂，掩模工厂会将layout数据进行再处理，也就是Data processing,
做成掩模，然后拿到代工场进行芯片制造。
利用掩模工序时有些层显影之后是留下的称dark,有些层显影之后是去除的为clear.
做后端的建议多学习一点制程方面知识，会很受益哦~~

happyjane_999 · 发表于 2012-11-20 11:07:42

回复 3# randysong

Thanks!

happyjane_999 · 发表于 2012-11-20 11:08:55

回复 4# coronaab

多谢！是应该多了解了解制程了！

零点61吧 · 发表于 2016-6-27 10:08:46

thanks

zhumingzhu · 发表于 2022-2-21 17:33:11

coronaab 发表于 2012-11-20 10:16
Layout数据会拿到掩模工厂，掩模工厂会将layout数据进行再处理，也就是Data processing,
做成掩模，然后拿 ...

很对

[求助] 关于Design rule中digital tone?