请问：关于MIM电容和PIP电容

fuyibin

   

原帖由 mekenny 于 2008-11-19 09:09 发表

                               
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感谢楼上两位。我目前在做ADC，工艺库上有PIP电容也有MIM电容，ADC的电容阵列主要是考虑匹配精度问题，对单个电容的绝对精度要求不高，不知道用PIP电容（1.25fF/um2）好还是MIM（0.37fF/um2）好？

目前我看到match最好的是MOM电容，
MOM电容 98.9fF   35.6um^2      mismatch=0.042%   2.7fF/um^2
MIM电容    220fF   116.6um^2     mismatch=0.068%  1.88fF/um^2
MOM电容最高匹配精度都可以做到0.005% 大概6pF
一般10bit的ADC用个0.5pF的采样电容足够了