请问一下wafer切割道的结构是什么样子的？

tencome · 发表于 2023-4-24 08:22:41

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请教一下大神，切割道的结构一般是什么样子的？除了表面能看到的一些test pad，有没有那种横截面示意图啊？

tencome · 发表于 2023-4-24 20:41:32

xy20190211 发表于 2023-4-24 11:04
有开窗层就行了其他的可有可无

这位大佬应该知道吧？能给个示意图最好，手画的示意图拍个照看看也行。

tencome · 发表于 2023-4-26 13:32:05

JHX_SMICS 发表于 2023-4-25 16:09
切割道里的TK很多，有CD、厚度、深度等量测TK，也有WAT 电性TK以及可靠性的RE TK；
由于TK是和芯片是一起生 ...

切割道区域也会有底部那种MOS晶体管结构么？

tencome · 发表于 2023-5-3 10:09:45

JHX_SMICS 发表于 2023-4-26 13:43
有，WAT 测试的就是管子

多谢多谢大佬

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