外延层为什么可以降低闩锁？

陈卫霖

在一些资料上面看到外延层可以降低闩锁的风险。
衬底上面生长一层轻掺杂的外延层，衬底电阻不是会增加吗？
衬底电阻增加不是应该会增加闩锁的风险吗？
不是很理解，特来请教一下。

陈卫霖

   

ZN0001 发表于 2024-6-12 10:27
外延衬底使用双衬底，在低掺杂的p-衬底下方还有一层高掺杂的p+衬底

为什么不直接用高掺杂的衬底呢？这样不是电阻更小吗？

陈卫霖

   

ZN0001 发表于 2024-6-12 11:03
有没有可能他本来就是做低掺杂的衬底上

没有外延层的时候，衬底是按低掺杂浓度进行制作。
当有外延层的时候，衬底是按高掺杂浓度进行制作。


我这样理解对吗？

陈卫霖

   

ZN0001 发表于 2024-6-12 11:38
其实我也有点迷糊了，那现在外延层不就是直接接触的衬底嘛

还有一点我也很迷糊，它们存在浓度差的时候为什么不会发生扩散？

陈卫霖

   

真诚的小鲸鱼 发表于 2024-11-21 11:38
我也是想知道的

大哥，你是真的能水回复啊，每个帖子下面你都是这一句