外延层为什么可以降低闩锁？

陈卫霖 · 发表于 2024-6-12 10:17:53

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在一些资料上面看到外延层可以降低闩锁的风险。
衬底上面生长一层轻掺杂的外延层，衬底电阻不是会增加吗？
衬底电阻增加不是应该会增加闩锁的风险吗？
不是很理解，特来请教一下。

ZN0001 · 发表于 2024-6-12 10:27:01

外延衬底使用双衬底，在低掺杂的p-衬底下方还有一层高掺杂的p+衬底

陈卫霖 · 发表于 2024-6-12 10:54:00

ZN0001 发表于 2024-6-12 10:27
外延衬底使用双衬底，在低掺杂的p-衬底下方还有一层高掺杂的p+衬底

为什么不直接用高掺杂的衬底呢？这样不是电阻更小吗？

ZN0001 · 发表于 2024-6-12 11:03:22

陈卫霖发表于 2024-6-12 10:54
为什么不直接用高掺杂的衬底呢？这样不是电阻更小吗？

有没有可能他本来就是做低掺杂的衬底上

陈卫霖 · 发表于 2024-6-12 11:06:16

ZN0001 发表于 2024-6-12 11:03
有没有可能他本来就是做低掺杂的衬底上

没有外延层的时候，衬底是按低掺杂浓度进行制作。
当有外延层的时候，衬底是按高掺杂浓度进行制作。

我这样理解对吗？

ZN0001 · 发表于 2024-6-12 11:38:12

陈卫霖发表于 2024-6-12 11:06
没有外延层的时候，衬底是按低掺杂浓度进行制作。
当有外延层的时候，衬底是按高掺杂浓度进行制作。

其实我也有点迷糊了，那现在外延层不就是直接接触的衬底嘛

陈卫霖 · 发表于 2024-6-12 11:51:53

ZN0001 发表于 2024-6-12 11:38
其实我也有点迷糊了，那现在外延层不就是直接接触的衬底嘛

还有一点我也很迷糊，它们存在浓度差的时候为什么不会发生扩散？

ZN0001 · 发表于 2024-6-12 11:57:24

陈卫霖发表于 2024-6-12 11:51
还有一点我也很迷糊，它们存在浓度差的时候为什么不会发生扩散？
...

会进行自掺杂吧，但是通过某些方法可以减小

ncash0933 · 发表于 2024-6-12 15:31:07

谢谢分享

xiao19900401 · 发表于 2024-6-13 14:03:52

坐等大佬回复

[求助] 外延层为什么可以降低闩锁？