NBL埋层

FlyingPig2 · 发表于 2023-2-22 17:34:29

芯芯向上发表于 2022-11-20 15:53
谢谢回答，想再问一下：是因为slot被扩散吃掉了所以能降低浓度吗？所以其实NBL还是连着的，只是 ...

是的，因为被扩散吃掉了，所以浓度相较于没有slot低一些

FlyingPig2 · 发表于 2024-11-28 15:58:09

就是为了减小hvbn的掺杂浓度，提高耐压。实际mask也是slot的，但是注入完肯定是一个整的，只是整体浓度降低了。不得不说，帮大家省了一张mask

FlyingPig2 · 发表于 2025-3-18 09:45:08

longyanzhinu 发表于 2025-3-14 09:13
省了哪一张板

本来是需要两个不同浓度的nbl层，两个步骤，两张mask，现在通过slot的方式，实现了一张mask一次注入。

FlyingPig2 · 发表于 2025-3-31 11:06:16

longyanzhinu 发表于 2025-3-27 15:35
那这种实际中NBL这层是有slot的吗，还是一些地方是薄一些其他地方后一些
...

实际注入的时候有slot，注入完扩散结束后是没有slot的，浓度低一些

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