mim antenna error

redwall76 · 发表于 2021-12-21 11:58:52

大家好我是一个研一小白，现在在做TSMC65nm的工艺的版图，在跑antennaDRC的时候出现了M8的error（图一）。我的电容一端接mos的gate，一端接pin。接mos的gate的M8金属不是很长，接pin的M8很长，我也用了跳线来避免天线问题（调到M9再跳回M8）（见图二图三）。但是还是有天线问题。想问下前辈们，这个问题到底咋回事，咋解决。。。出错的是上面的大电容。
感谢大家

redwall76 · 发表于 2021-12-21 14:12:39

顶一下

redwall76 · 发表于 2021-12-21 20:03:33

封心锁爱发表于 2021-12-21 15:37
每层金属的ant比例值相对于Gate是固定的，你需要的是将它们合理分配；跳线选择在靠近gate端跳，由低往高层 ...

但是我从mimcap出来就向上跳线还是有这个ERROR。。。您知道怎么回事吗？

redwall76 · 发表于 2021-12-24 10:15:30

我试了一下，gate处打一个到OD层的通孔就没事了

redwall76 · 发表于 2021-12-27 19:25:51

hujiangtao007 发表于 2021-12-24 13:51
如果电容一端接MOS输入端，一端接IO，而电容又是MIM电容就会有这个问题。一般都是IO输入需要MIM做隔值电容 ...

感谢前辈

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