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[求助] 在画电容layout时,unit cap修成45度角是出于什么目的考虑呢

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发表于 2016-12-14 20:09:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

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在画电容layout时,unit cap修成45度角是出于什么目的考虑呢
发表于 2016-12-14 23:10:21 | 显示全部楼层
为了防止90度锋利边缘,这些蚀刻更快。 并导致更大的过程匹配误差。
发表于 2016-12-15 09:42:15 | 显示全部楼层
2楼对的。实际光照和刻蚀工艺会造成90度角变成一个圆角,所以画Layout的时候就做成一个钝角有利于Matching
 楼主| 发表于 2016-12-15 13:11:40 | 显示全部楼层
回复 2# AcoAco
那一般修角的长度怎么确定呢?
 楼主| 发表于 2016-12-15 13:14:38 | 显示全部楼层
本帖最后由 xinleiye 于 2016-12-15 13:19 编辑

回复 3# xuriver2012
这个引入的失配应该很小吧,是不是在匹配精度要求很高的情况下才有意义
发表于 2016-12-15 17:16:35 | 显示全部楼层
回复 4# xinleiye

我可以给你一个线索
完美的圆形形状匹配远优于正方形或矩形形状。
制作形状的拐角,使形状接近圆形。
 楼主| 发表于 2016-12-16 19:39:34 | 显示全部楼层
回复 6# AcoAco
我体会体会,谢谢指导~~
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