求解silvaco定义了一个JFET结构，但是进程到掺杂就报错了。

lwq_119

go atlas
mesh space.mult=1
x.mesh loc=0.000  spac=0.100
x.mesh loc=0.500  spac=0.400
x.mesh loc=1.000  spac=0.100
x.mesh loc=1.500  spac=0.400
x.mesh loc=2.000  spac=0.100
x.mesh loc=2.500  spac=0.200
x.mesh loc=3.000  spac=0.100
x.mesh loc=3.500  spac=0.200
x.mesh loc=4.000  spac=0.100
x.mesh loc=4.500  spac=0.400
x.mesh loc=5.000  spac=0.100
y.mesh loc=-0.500 spac=0.05
y.mesh loc=-0.400 spac=0.05
y.mesh loc=-0.300 spac=0.05
y.mesh loc=-0.100 spac=0.05
y.mesh loc=0.000  spac=0.001
y.mesh loc=0.500  spac=0.050
y.mesh loc=1.500  spac=0.050
y.mesh loc=3.000  spac=0.050
y.mesh loc=4.000  spac=0.050
y.mesh loc=5.000  spac=0.050

region num=1 x.min=0     x.max=5   y.min=0     y.max=5             material=silicon
region num=2 x.min=0     x.max=5   y.min=-0.2     y.max=0          material=oxide
region num=3 x.min=1.5   x.max=3.5   y.min=-0.2     y.max=-0.1     material=poly
#nwell
region num=4 x.min=0.5   x.max=4.5   y.min=0     y.max=2     material=silicon
#n+
region num=5 x.min=1     x.max=1.5   y.min=0     y.max=0.5   material=silicon
region num=5 x.min=3.5     x.max=4   y.min=0     y.max=0.5   material=silicon

region num=6 x.min=1.5   x.max=3.5   y.min=-0.2     y.max=-0.1    material=Aluminum
region num=6 x.min=1     x.max=1.5   y.min=-0.25     y.max=-0.2   material=Aluminum
region num=6 x.min=3.5     x.max=4   y.min=-0.25     y.max=-0.2   material=Aluminum

elec name=gate x.min=1.5   x.max=3.5   y.min=-0.2     y.max=-0.1
elec name=drain x.min=1     x.max=1.5   y.min=-0.25     y.max=-0.2
elec name=source x.min=3.5     x.max=4   y.min=-0.25     y.max=-0.2


#psub
doping  uniform conc=4e12 p.type region=1
#nwell
doping gauss conc=5e13 n.type region=4 ascii infile=concdata
doping gauss conc=5e16 n.type region=5 ascii infile=concdata
#doping gauss conc=5e13 n.type region=4 peak=0.5 char=0.5 junction=2.5
#doping gauss conc=5e16 n.type region=5 peak=0.1 char=0.1 junc=0.5

material material=Si        taun0=1.0e-7 taup0=1.0e-7
material material=Poly      taun0=1.0e-7 taup0=1.0e-7
material region=1 tc.a=2.27 tc.b=0 tc.c=0
material region=3 tc.a=7.9  tc.b=0 tc.c=0

save outf=JFET3.str
tonyplot JFET3.str
进行到dopingpsub就报错停止了。
求解

liugao1998

可能是网格和区域没有完全重合，你再画个图检查一下

lwq_119

回复 2# liugao1998


   我检查了一下，我发现主要原因是定义poly结构的时候有问题，我把region poly的部分注释掉就没事了。不知道poly这块有啥问题

liugao1998

你的网格顶端到y=-0.5，但是区域只到y=-0.25，这样肯定出错

lwq_119

回复 4# liugao1998

这么说网格顶太高了？应该和区域是一样的？

lwq_119

回复 4# liugao1998

go atlas
mesh space.mult=1
x.mesh loc=0.000  spac=0.100
x.mesh loc=0.200  spac=0.060
x.mesh loc=0.400  spac=0.060
x.mesh loc=0.600  spac=0.060
x.mesh loc=0.800  spac=0.060
x.mesh loc=1.000  spac=0.100
y.mesh loc=-0.500 spac=0.05
y.mesh loc=-0.400 spac=0.05
y.mesh loc=-0.300 spac=0.05
y.mesh loc=-0.200 spac=0.05
y.mesh loc=-0.100 spac=0.05
y.mesh loc=0.000  spac=0.05
y.mesh loc=0.500  spac=0.05
y.mesh loc=1.500  spac=0.10
y.mesh loc=2      spac=0.05
y.mesh loc=3.000  spac=0.20
y.mesh loc=4.000  spac=0.20
y.mesh loc=5.000  spac=0.20

#psub  
region num=1 silicon           x.min=0 x.max=1 y.min=0 y.max=5              
region num=2 oxide x.min=0     x.max=1   y.min=-0.2     y.max=0
#region num=3 oxide x.min=0 x.max=1.5 y.min=4.8 y.max=5
#region num=4 oxide x.min=3.5 x.max=5  y.min=4.8 y.max=5         
region num=5 poly  x.min=0.35 x.max=0.55 y.min=-0.3 y.max=-0.2

#nwell
region num=6 silicon x.min=0.05   x.max=0.95   y.min=0     y.max=2.5     
#n+
region num=7 silicon x.min=0.15     x.max=0.25   y.min=0   y.max=0.8   
region num=8 silicon x.min=0.6     x.max=0.8   y.min=0     y.max=0.8   
#gate
region num=9 Al x.min=0.35   x.max=0.55   y.min=-0.5     y.max=-0.35   
#D/S
region num=10 Al x.min=0.15     x.max=0.25   y.min=-0.3     y.max=-0.2   
region num=11 Al x.min=0.6     x.max=0.8     y.min=-0.3     y.max=-0.2
#sub
region num=12 Al x.min=1.5     x.max=3.5 y.min=4.8      y.max=5  

elec name=gate x.min=0.35   x.max=0.55    y.min=-0.5     y.max=-0.35
elec name=drain x.min=0.15     x.max=0.25    y.min=-0.3     y.max=-0.2
elec name=source x.min=0.6     x.max=0.8   y.min=-0.3     y.max=-0.2
elec name=sub   x.min=1.5    x.max=3.5   y.min=4.8      y.max=5  


#psub
doping  uniform conc=4e12 p.type region=1
#nwell erfc[(junc-peak)/char]=0.1 so (junc-peak)/char=1.15 and you can count the char  
doping gauss conc=5e13 n.type peak=0.5 char=1.3 junc=2 region=6
#n+
doping gauss conc=5e13 n.type peak=0.25 char=0.22 junc=0.5 region=7
doping gauss conc=5e13 n.type peak=0.25 char=0.22 junc=0.5 region=8


material material=Si        taun0=1.0e-7 taup0=1.0e-7
material material=Poly      taun0=1.0e-7 taup0=1.0e-7
material region=1 tc.a=2.27 tc.b=0 tc.c=0
material region=3 tc.a=7.9  tc.b=0 tc.c=0

save outf=JFET3.str
tonyplot JFET3.str
你再看看这个呢，我做一些更改，还是不行。区域有到顶端了，

liugao1998

改过的版本里还是有网格区没定义区域。一个最简单的验证方法就是把氧化层向上延伸
region num=2 oxide x.min=0     x.max=1   y.min=-0.5     y.max=0

lwq_119

回复 7# liugao1998


   哇塞，果然不报错了，但是出来的图形凌乱了，哈哈，我看看咋回事。
还有个问题，请教一下，就是在运行的时候，在金属区域时会报这个错误，你看是怎么回事呢？是不是也和网格有关系。
ATLAS> region num=10 aluminum x.min=0.6 x.max=0.8 y.min=-0.3 y.max=-0.2
** ERROR #  3 **
* Invalid parameter specification *
==> aluminum
ATLAS> #sub
ATLAS> region num=11 aluminum x.min=0.35 x.max=0.55 y.min=4.8 y.max=5
** ERROR #  3 **
* Invalid parameter specification *
==> aluminum

huanyin

非常感谢楼主分享

liugao1998

你要这样定义铝区域
region num=10 material=aluminum x.min=0.6 x.max=0.8 y.min=-0.3 y.max=-0.2