TSMC018的IO pad,DRC的时候出现以下错误:ESD.24g { @ The minimum width of RPO on drain side (X) for 5V,3.3V, 2.5V, 1.8V and 1.5V NMOS and PMOS.
@ 1.8V and 1.5V NMOS when used as power clamp device>=1.95um
X = ((ENSD_WCO OR EPSD_WCO ) AND ESD2DMY) AND RPO
Y = EGTE COIN OUTSIDE EDGE X
Z = RPO COIN INSIDE EDGE X
ENC Y Z < 1.95 ABUT < 90 REGION
}
ESD.25g { @ The minimum clearance from poly edge to CO edge on source side for NMOS and PMOS (Except ESD.26g)>=0.5um
X = ECOS AND ((ENMOS OR EPMOS ) INTERACT RPO)
EXT X EGTE_W < 0.5 ABUT < 90 OPPOSITE REGION
Y = ECO AND ESD1_NCS
EXT Y EGTE_W < 0.5 ABUT < 90 OPPOSITE REGION
}
PAD
只显示POLY,Contact,RPO
第一个图IO pad 版图,第二个为放大的只显示POLY,Contact,RPO
图中标的Z,就是出错的地方。我量了下,IO pad里面他们之间的距离不到0.8um,而DRC规则却要求之间距离大于1.95um。
这不是矛盾了吗?
求前辈指导:(1)是不是DRC有问题?若果是,这个问题是不是就可以忽略了(我不能去动pad吧)
(2)如果DRC没问题,那到底是哪里错了?我在包含这些IO pad的版图里面,过DRC同样出现很多这些错误(和单独过一个pad的DRC结果一样)
求前辈帮帮忙!多谢了!!