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[求助] 关于mim电容,底极板采样,一直有个疑问。

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发表于 2015-1-16 15:38:19 | 显示全部楼层 |阅读模式

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以前在学校用.13工艺流片时,有特殊的金属层mim层,用来做电容。一般采样电路中都采用底极板采样,而用mim这一侧极板接运放输入端。我一直认为,因为mim层电容极板比下面一侧的电容极板稍小一些,容值由mim层面积决定,而mim因为专门用作电容制作,所以精度比较高,mismatch会更好。因此才会采用底极板采样。不过今天有同事提到,因为非mim层的另一侧极板对衬底有寄生电容,所以才使用mim层接运放高阻输入端。不知大家怎么看的?
发表于 2015-1-16 17:29:22 | 显示全部楼层
应该是MIM下极板接运放输入,因为有寄生,且衬底噪声对其影响较大,因此下极板接运放输入端的虚地,降低其影响吧
发表于 2015-1-17 17:50:51 | 显示全部楼层
回复 1# etiet


    你是哪家工艺?
发表于 2015-1-17 17:52:54 | 显示全部楼层
工艺成熟的话哪个基板输入影响并不大,你周围把dumy画好,周围隔离画好,电容最好大一些,就很不错了
发表于 2015-4-1 13:31:19 | 显示全部楼层
回复 4# 上海大学


    请问,如果采样电容,不做dummy的话,会影响精度吗?
发表于 2015-4-1 14:06:01 | 显示全部楼层
回复 5# fengtang2332


   从工艺的层面来说,会的。如果某个区域金属分布不够均匀,甚至达不到工艺要求,那么这个区域内的金属很有可能会欠刻蚀或过刻蚀,从而影响器件精度。另一方面,dummy有一定的阻隔噪声的作用,所以信号也会更纯净。
发表于 2015-4-1 14:20:11 | 显示全部楼层
采用寄生电容小的端口做运放连接端,可以提高整个放大结构的性能。
发表于 2015-4-1 18:33:10 | 显示全部楼层
我也想知道啊!!!!
发表于 2015-4-3 15:22:30 | 显示全部楼层
回复 6# hszgl


    在麻烦问一句,在仿真中怎样设置可以体现出加dummy和不加dummy的区别,
    不加dummy情况,要手动更改输入电容值,再仿真?
    大神们,有没有用过其他的方法?
发表于 2015-4-3 16:31:04 | 显示全部楼层
回复 9# fengtang2332


   加不加dummy所体现的不同在两个方面,一个是寄生电容,这个通过版图提取后仿可以了解;另一个是工艺漂移, 一般来说,工艺的漂移是可以通过Corner仿真和蒙特卡洛仿真来展现的。
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