请教几个关于dummy的问题

yxu2006 · 发表于 2012-1-18 16:45:03

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dummy OD，Dummy poly Dummy TCD 是什么意思？他们之间的区别呢？

icfbicfb · 发表于 2012-1-18 23:18:04

od是diffusion，active啊，就是active area，源区，做管子的区域，

dummy poly就是dummy gate啊，

tcd cell， technology critical dimension cell， tsmc为了测试工艺稳定性的
一般隔个几百um 放一个，测试工艺用的，