请教几个关于dummy的问题

yxu2006 · 发表于 2012-1-18 16:45:03

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dummy OD，Dummy poly Dummy TCD 是什么意思？他们之间的区别呢？

icfbicfb · 发表于 2012-1-18 23:18:04

od是diffusion，active啊，就是active area，源区，做管子的区域，

dummy poly就是dummy gate啊，

tcd cell， technology critical dimension cell， tsmc为了测试工艺稳定性的
一般隔个几百um 放一个，测试工艺用的，

damonzhao · 发表于 2012-1-19 12:16:03

围观学习中，呵呵

half_honey · 发表于 2012-2-6 13:18:35

好像没见过这个tcd cell哎

fengwenfeng · 发表于 2012-5-28 23:14:40

新手路过

zhongjf001 · 发表于 2014-3-31 22:13:54

二楼牛啊

小工兵 · 发表于 2014-11-28 14:35:22

dummy 是什么意思，加这些dummy作用是什么

xylyc521 · 发表于 2014-11-30 23:24:11

回复 7# 小工兵

代工厂对dummy 有一定的要求，也就是金属密度有一定的上下限。工艺上用到的

xiuqi180 · 发表于 2015-9-24 16:38:42

围观学习中，呵呵

floraysu · 发表于 2015-11-26 16:31:37

围观学习

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