关于DNW层的作用

qiuqiuOO · 发表于 2014-7-16 18:51:18

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本帖最后由 qiuqiuOO 于 2014-7-17 13:38 编辑

关于DNW，我想请教大家两个问题：
1.SMIC18射频工艺里，DRC rule 要求 SURNW 层必须 surrounding DNW，那还需要用 NW 再环绕 DNW四周吗？
DRC rule 里描述 SURNW --Dummy layer for DNW surrounding NW ,不是很明白？？

2.使用DNW作为隔离作用时，需要使用 AA 层作为接触接出来吗？还是只需有这层即可？

多谢解惑！

layout123 · 发表于 2014-7-17 13:30:33

1. RURNW 只是个dummy layer，可能DRC或者LVS里面会用到吧，实际上不制版，没有对应工艺步骤的
2. DNW要用NW引出，NW用N+AA引出

qiuqiuOO · 发表于 2014-7-17 13:39:36

多谢楼上的

qiuqiuOO · 发表于 2014-7-17 14:10:48

回复 2# layout123

DNW　要用　NW　引出，是指　NW　要　环绕　DNW　一圈　吧，

DNW 是像某些工艺里的 NBL 层一样，存在于某部分位置，上面还有外延层，还是像 NW 那样，所画的矩形里从结深处到外延表面都被参杂反型了呢？

layout123 · 发表于 2014-7-17 16:54:21

回复 4# qiuqiuOO

smic的是深深的埋在泥土里的

[求助] 关于DNW层的作用

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