关于fuse的问题

zgf85644958 · 发表于 2014-7-14 16:00:20

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请教各路大神Fuse下面垫一层阱的作用

xxmule · 发表于 2014-7-14 17:05:49

路过，弄器件的讲一下哈

请教各路大神Fuse下面垫一层阱的作用
zgf85644958 发表于 2014-7-14 16:00

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mangoch · 发表于 2014-7-15 09:49:50

fuse那里钝化层开窗，没有金属什么的阻挡，然后就可能蚀刻到衬底？
烧fuse的时候，fuse可能会搭到衬底上去，短路？
加个nw，形成个pn结，搭上去也不怕？
会不会是这样？

fuyibin · 发表于 2014-7-15 13:31:42

是poly fuse 还是metal fuse? 各家工艺可能还不太一样

kalahara · 发表于 2014-7-18 09:24:54

回复 3# mangoch

貌似你猜对了。

lianaissmec · 发表于 2014-11-13 09:25:00

3楼回答正确

xxmule · 发表于 2014-11-13 10:06:27

楼上是搞工艺的？？

回复 6# lianaissmec

miaoyue1999 · 发表于 2014-11-13 14:42:03

我现在都用metai fuse，poly fuse，感觉不好

miaoyue1999 · 发表于 2014-11-13 14:44:03

即使fab没有提供metal fuse，我也是参考别家的工艺做成metal fuse

tuohong · 发表于 2014-11-13 15:33:56

说说我了解的信息。如图，早期metal刻蚀不利，会刻的比较深，就像我手画的metal两边那两条比较粗的东西，可以直接刻到平面以下，在做trim的时候，如果metal被加热到液体流动时，那两条刻蚀线就起到了contact的作用，metal直接连到了衬底，如果恰好处于将断未断时（这个情况应该极少极少），那么就会对衬底形成漏电，如果加了一层nwell，就可以用nwell-psub形成的diode隔离以下这个漏电。
以上是我咨询了两个同事后得到的信息，不保证正确。
据说现在的工艺刻蚀已经不可能这么烂了。

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