请问金属层密度的影响

hszgl · 发表于 2013-10-10 17:32:10

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请教各位，如果版图中的金属密度过大，在工艺上有何不良影响？如果过小呢？
我用的工艺要求密度大于30%小于50%，现在因为filler和dummy金属放的比较多，密度达到62%。不知道是不是有必要去掉？

xxmule · 发表于 2013-10-10 17:57:32

回复 1# hszgl

按照工艺的要求来比较稳妥哈，

simonjin · 发表于 2013-10-11 09:07:27

我记得公司会给你们提供dummy insertion的script,Ran一下就好了吧？没必要自己添加

hszgl · 发表于 2013-10-11 09:13:06

回复 3# simonjin

一方面是fab没有提供，另一方面是即使有我们的工具也不支持，再一方面是我们自己在设计上考虑了更多的噪声屏蔽和信号隔离.

LDJK · 发表于 2013-10-11 09:27:19

直接跟工艺厂沟通就好了撒

hszgl · 发表于 2013-10-11 09:38:19

回复 5# LDJK

昨天比较晚了，所以就先上论坛问问。今天和foundry沟通过了，表示可能存在腐蚀不足或过腐蚀的问题。所以还是follow工艺厂要求比较好。，

fuyibin · 发表于 2013-10-11 09:45:14

本帖最后由 fuyibin 于 2013-10-11 09:47 编辑

请教各位，如果版图中的金属密度过大，在工艺上有何不良影响？如果过小呢？
我用的工艺要求密度大于30%小于 ...
hszgl 发表于 2013-10-10 17:32

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你这个metal density window怎么这么小，tsmc就是 20%~80%
metal density 会影响metal 的厚度，density越高，metal越薄
metal不uniform也会有yield问题
如果用foundry的tool做dummy filler 应该不会有density问题吧

hszgl · 发表于 2013-10-11 09:48:08

回复 7# fuyibin

呵呵，工艺烂呗~

水中山0428 · 发表于 2015-7-7 20:09:35

请问你是如何看出自己的金属密度这么准确的值？

hszgl · 发表于 2015-7-8 13:24:23

回复 9# 水中山0428

drc的时候会输出的。

[求助] 请问金属层密度的影响

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