为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容？

stealingling · 发表于 2013-8-16 15:19:04

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为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容呢？0.13um的工艺中mim电容和mom电容都有。mim电容应该就是在TM和TM-1之间加上一层insulator吧，这个在65nm和55nm的工艺中实现很难吗？

顺便问一下mim电容和mom电容哪种的精度和匹配性要好一些？

buckaroo · 发表于 2013-8-16 16:08:57

mim太土了，就连老的工艺smic .13原来只有mim，现在都有mom了
mom匹配又好，density又高，更重要的是它还免费，岂有不用它的道理。

semico_ljj · 发表于 2013-8-16 23:17:12

mom 的精度很高吗? 匹配好是可能的

vdslafe · 发表于 2013-8-17 08:05:45

精度高和匹配好不是一回事么？

stealingling · 发表于 2013-8-20 21:29:46

到底是精度高还是匹配好啊...

bananawolf · 发表于 2013-8-20 21:56:15

精度2个差不多，匹配mom好

stealingling · 发表于 2013-8-21 12:20:16

是不是因为mom不用加一层insulator，就省了一层mask，成本降低了？

hzx85337856 · 发表于 2013-8-21 21:38:23

mom cap对地有很大的电容，不过面积小，而且精度高；mim cap对地电容小，但是面积大，精度低

lgy747 · 发表于 2013-8-22 11:51:40

mim太土了，就连老的工艺smic .13原来只有mim，现在都有mom了
mom匹配又好，density又高，更重要的是它还免 ...
buckaroo 发表于 2013-8-16 16:08

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mom免费，这个请详细讲讲

stealingling · 发表于 2013-8-22 22:45:36

mim太土了，就连老的工艺smic .13原来只有mim，现在都有mom了
mom匹配又好，density又高，更重要的是它还免 ...
buckaroo 发表于 2013-8-16 16:08

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为啥免费...

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