关于insert pad filler cell 的作用

nicolasr · 发表于 2013-7-25 13:42:50

metal filler有什么功能吗，提高金属覆盖率什么目的？

wenfangsibao · 发表于 2016-12-7 10:52:53

回复 11# nicolasr

跟工艺有关。如果某一局部metal density过低，会在制造环节造成过刻蚀的后果。

suly · 发表于 2016-12-7 16:01:59

回复 11# nicolasr

没有metal filler这种说法吧，io上加filler是为了让power ground都连接起来，内部最后会加dummy layer，不止dummy metal还有dummy poly和dummy OD等是整个芯片的layer满足一定的密度避免应力效应局部过于脆弱就容易坍塌

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