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[求助] 工艺库里面没有金属电容,可以自己画金属电容吗?

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发表于 2013-4-28 10:05:44 | 显示全部楼层 |阅读模式

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小弟用宏力的工艺库做设计,要用到金属电容,库里面只有mos电容,想自己利用金属画一个,请问具体怎么画,画成什么形状合适,还要注意些什么问题,各位大侠如果有这方面的经验,或者有相关资料尽管丢过来吧!谢了,各位!
发表于 2013-4-28 10:31:00 | 显示全部楼层
design rule里面没有吗?
发表于 2013-4-29 09:13:15 | 显示全部楼层
如果严格要求两个都不可以画,没有严格的器件模型。对于要求精确的电容没有任何意义.
 楼主| 发表于 2013-4-29 15:34:22 | 显示全部楼层
回复 3# 蘑菇要冷静


    对电容精读要求不高,设计指标1.8pf    能做到1到2.6pf就行了,  但对电容比值有要求    库里面rule没有定义


有办法吗
发表于 2013-4-29 17:35:43 | 显示全部楼层
本帖最后由 蘑菇要冷静 于 2013-4-29 17:37 编辑

那往大了画呗,MOM 和MIM都可以, 还是蛮大的,推荐MOM 用金属的侧壁电容2-TOP. MIM电容也可以,推荐顶层TOP TOP-1层。算起来可就受罪了,尤其是侧壁电容,可能引要去SPICE 文件里去找了。
发表于 2013-4-30 12:07:32 | 显示全部楼层
这个要   质询下 Foundry . 金属 MIM 电容是要多层 MASK 的。MOM 电容很少用到。一般我都是自己画的 金属侧壁电容,只要满足 DRC 规则,这个电容是寄生电容,容值比较小。
发表于 2013-5-10 13:08:45 | 显示全部楼层
我晕哦,你们做版图这么自由的啊,没有的东西就自己画啊??
难道不是先问design能不能改成库里有的吗?不能改才去找foundry看这东西能不能做?该怎么layout的吗?
不然你自己画的东西仿真怎么仿?
发表于 2013-5-10 20:51:16 | 显示全部楼层
正如zphcd 所说,MOM电容其实还是平板电容器的延伸,只是需要额外考虑fringe electromagnetic field 对电容值的影响。准确的值需要通过三维电磁场工具建模仿真得到。但是这个值的精度依然取决于你对工艺参数的了解(如介电常数,金属的宽度和厚度,氧化层的厚度),如果你能得到这些数据,通过仿真就可以得到准确值或者均方差等。不过,不通过仿真,应该也会有一阶的方法来估算,可能偏差会大点。

ps:这只是我个人的理解,希望大家指正
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这个要   质询下 Foundry . 金属 MIM 电容是要多层 MASK 的。MOM 电容很少用到。一般我都是自己画的 金属侧壁电容,只要满足 DRC 规则,这个电容是寄生电容,容值比较小。
发表于 2013-5-14 10:47:11 | 显示全部楼层
也学习了
发表于 2013-5-14 11:35:50 | 显示全部楼层
也学习了~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
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