问一个基本问题：Mos电路为什么要进行场区隔离，比如Locos

elovu5256 · 发表于 2012-7-4 00:00:20

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P型衬底上的两个N管将两个管子隔开一段距离，而间隔不加场氧。这会有什么影响啊，是会有漏电吗？

kakawalee · 发表于 2012-7-4 11:00:40

谢谢楼主！！

tfangli1234 · 发表于 2012-7-4 11:03:55

说明白点啊

allen_tang · 发表于 2012-7-4 18:25:04

fox oxide比较厚，不易反型，防止poly、metal走线使得寄生device导通而造成漏电，LZ是这个意思吧？

elovu5256 · 发表于 2012-7-5 15:00:11

回复 2# kakawalee

不客气

elovu5256 · 发表于 2012-7-5 15:01:44

回复 4# allen_tang

我想问的就是场氧的作用，谢谢

elovu5256 · 发表于 2012-7-5 15:05:21

回复 3# tfangli1234

我就是想问下场氧的作用谢谢

lixiaojun707 · 发表于 2012-7-5 19:41:04

不加场氧会有寄生的管子且寄生管子的阈值很低容易导通，会有漏电产生！

terry8876 · 发表于 2012-7-6 16:21:57

金属1如果跨过有源区，但是又没有场氧的话，金属会“变成”栅，然后会产生寄生晶体管，影响电路功能。而场氧的厚度会保证这些寄生晶体管的阈值为几个伏特，一般来说没有问题。但在高压区域就不行了，所以一般工艺会禁止在高压区域走金属一。

elovu5256 · 发表于 2012-7-6 23:31:37

回复 9# terry8876

谢谢你的回答，很在理

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