bulk与psub的关系

1127208631 · 发表于 2012-3-21 17:26:43

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如题，各位大侠帮忙解释一下。O(∩_∩)O谢谢

max_max · 发表于 2012-3-21 21:03:44

design rule 里面一般规定bulk就是大衬底，也就是没有图形的地方都是bulk，一般mark层都定义为0，psub就是我们说的p型衬底，在Bicmos的工艺里可能会同时碰到这两个层次，这层一般要套一层掩膜板。

1127208631 · 发表于 2012-3-22 17:30:13

回复 2# max_max

额，也就是说，psub通常情况下就是bulk,对么？

1127208631 · 发表于 2012-3-22 17:34:00

回复 2# max_max

在版图中怎么看哪里是衬底连接呢？一块PP+OD+M1+bulk(psub)?还有我看到版图里有环形的PP或者环形NW（带有NN），这些是guardring?

max_max · 发表于 2012-3-22 22:36:47

一般p型衬底接地，n型衬底接电源，你说的一圈衬底在芯片内部不单纯是作为保护环，更重要的是模拟电路里做衬底隔离，来消除模拟电源信号间的干扰，一般用nw+ndiff做隔离比较好。

cts · 发表于 2012-4-6 13:44:03

p-well給NMOS用, n-well 給 PMOS, 一般 CMOS 用 P-sub的晶圓
Pwell 與Psub同型電位一致通常接地, Nwell 通常接最高電源
Pwell, Nwell 分別構成 NMOS及PMOS 的 bulk.

1127208631 · 发表于 2012-4-6 18:15:13

回复 6# cts

谢谢，懂了！另外请教个问题：请问知道n_psub吗？起什么作用？

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