SMIC.18工艺下，sio2的介电常数怎么看，为了求cox

chaoqunlv · 发表于 2011-9-20 15:30:10

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SMIC.18工艺下，sio2的介电常数怎么看，为了求cox，请大家指教

zhifj86 · 发表于 2011-10-13 20:38:44

顶一下，我也想知道~

zfmdcy · 发表于 2011-10-13 22:18:48

3.9----4.3

chaoqunlv · 发表于 2011-10-14 08:39:10

回复 3# zfmdcy

这是个范围，我们在计算时选多大呢

l241025097 · 发表于 2011-12-9 17:39:21

二氧化硅的介电常数等于3.9乘以硅的介电常数~硅的介电常数等于8.854乘以10的负14次方~单位是F/cm~这些都看看不到的吧~都是天生的值~在smic资料里只能看到氧化层厚度吧~

liyandong · 发表于 2012-3-12 00:30:46

楼主有工艺手册可以发给我看看吗？.35的有木有啊？我也正在发愁这个呢~~十分感谢~~qq：470301426 回复 5# l241025097

熊仔360 · 发表于 2014-11-26 17:05:27

作为初学者，学习了

初见 · 发表于 2014-12-18 11:20:09

二氧化硅的介电常数等于3.9乘以硅的介电常数~硅的介电常数等于8.854乘以10的负14次方~单位是F/cm~这些都看看 ...
l241025097 发表于 2011-12-9 17:39

登录/注册后可看大图

学习了，最近我也在为这个烦恼

Wolfsong119 · 发表于 2015-8-11 16:23:27

要赞一个，看过两遍又忘了。。。

aixs · 发表于 2015-11-22 16:28:13

赞一个，谢谢！

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