天线效应二极管的作用

gy118 · 发表于 2011-6-26 16:49:19

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解决天线效应的一种办法就是在GATE附近加一个反向二极管。那么请教一个问题，等离子刻蚀的时候连到栅氧的poly和metal上收集电荷，此时这些为了消除天线效应的二极管是如何工作的呢？利用的是其反向击穿特性泄放电荷还是正向导通特性，还是都用到了？
谢谢！

gy118 · 发表于 2011-6-27 09:24:49

换个说法吧，就是刻蚀时候poly和metal上收集的电荷都是正电荷还是正负电荷都有？

huntzxs · 发表于 2011-6-27 09:29:13

利用二极管的反向漏电，泄放电荷

gy118 · 发表于 2011-6-27 09:40:26

回复 3# huntzxs

那就是说天线效应收集的电荷只能是正电荷从而使电位升高了？

fuyibin · 发表于 2011-6-27 09:51:08

回复 huntzxs

那就是说天线效应收集的电荷只能是正电荷从而使电位升高了？
gy118 发表于 2011-6-27 09:40

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正负电荷没多大关系吧，在每接电源的时候都是floating，只要有个leakage path就会把两边拉到相同电势
在做cmp和etching时候鬼知道代什么电啊

gy118 · 发表于 2011-6-27 10:43:47

回复 5# fuyibin

对呀，之前我也是这样觉得，但是看到有人说类似于光电效应，等离子打上去把电子打出来了，会积攒正电荷。
baidu上也不知道从哪抄的说电位提高，但是没有具体解释。
按照这样的理论的话，就是只用到diode的反向击穿特性了。

fuyibin · 发表于 2011-6-27 10:55:55

回复 fuyibin

对呀，之前我也是这样觉得，但是看到有人说类似于光电效应，等离子打上去把电子打 ...
gy118 发表于 2011-6-27 10:43

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等离子？离子注入是带电荷的，不过是前道，在metal之前
ecthing是气体反应，莫非是等离子气体？
不懂了，呵呵
积累的电荷肯定和工艺及使用的材料有关系

goodsilicon · 发表于 2011-6-27 18:11:40

回复 7# fuyibin

是的，就是等离子刻蚀。

刻蚀时，衬底接地，所以电压升高，反向击穿二极管。

gy118 · 发表于 2011-6-28 09:56:45

回复 8# goodsilicon

想问一下等离子刻蚀电压一定就是升高么？就是说只可能产生正电荷？

goodsilicon · 发表于 2011-6-28 13:37:15

回复 goodsilicon

想问一下等离子刻蚀电压一定就是升高么？就是说只可能产生正电荷？
gy118 发表于 2011-6-28 09:56

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正电荷向下跑，因为衬底是0电位。

[讨论] 天线效应二极管的作用