什么是dummy层

chenzj09 · 发表于 2010-6-1 10:02:36

dummy层还有这用法啊

supertomcat · 发表于 2010-6-2 21:49:42

放在金属层中，用于生产过程中规定的满足金属密度。

littlechip · 发表于 2010-6-2 23:12:37

dummy 可以是金属 POLY 也可以是晶体管看具体用途，正如4楼所说，有时候增加那些层次只是做LVS或者DRC用的实际不做MASK。增加金属密度是因为生产过程中有CMP这一个工序

curylee · 发表于 2010-6-3 02:16:21

长知识了！

XIYAN · 发表于 2010-8-23 23:55:09

呵呵，学习了

zengql2007 · 发表于 2010-8-26 19:55:42

增加金属密度的均匀性。这样就不会在打磨的时候，出现过度打磨局部区域。

ira2008 · 发表于 2010-8-31 16:12:36

作用‘：牺牲自己保护他人。

fksnb · 发表于 2010-8-31 22:12:35

Foundry厂都有对金属密度的规定，使其金属密度不要低于一定的值，以防在芯片制造过程中的刻蚀阶段对连线的金属层过度刻蚀从而降低电路的性能。加入Dummy Metal是为了增加金属的密度。

WESTERFAN · 发表于 2010-9-9 19:48:55

CPM用的,保证WAFER的平整度

随风奔跑 · 发表于 2010-9-9 21:40:38

学习了。

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