工艺与器件

lvfeihi

一种器件与一种工艺（比如）CMOS工艺，兼容不兼容，应该怎么看？怎样算兼容，怎样算不兼容？

chenxiaoming

看MASK layer

hszgl

能说的清楚一点么？那种工艺和那种工艺？
是否兼容看材料、工艺条件以及设备，
比如AsGa和CMOS工艺就不兼容，因为衬底材料都不一样。
铁电材料工艺与CMOS工艺也不兼容，因为铁电薄膜需要退火，会把已经做好的mos搞死。
1u的工艺肯定无法兼容.5u的工艺，因为1u的设备刻不出0.5u的线条。

不是特别严谨，仅帮助理解。

ygchen2

   

一种器件与一种工艺（比如）CMOS工艺，兼容不兼容，应该怎么看？怎样算兼容，怎样算不兼容？
lvfeihi 发表于 2013-12-7 01:07

                               
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知道兼容与否的目的，是。。。？

lvfeihi

回复 3# hszgl

打个比方，一种传感器在不同的工艺下，需要不同的设计。。就是为了和工艺兼容！

hszgl

回复 5# lvfeihi


    什么传感器？hall？mems？
    和标准CMOS工艺的兼容性要和foundry确认，而且foundry还不一定支持你这么做，如果需要改变他们的recipe的话，风险很大。

lvfeihi

回复 6# hszgl


    hall

我看到一些文献，不同的工艺（比如NMOS，CMOS）不同的工艺，设计不一样。。。

hszgl

回复 7# lvfeihi


    那当然不一样。

lvfeihi

回复 8# hszgl


我看了好久的书，还是没能搞懂各种工艺的的差别（双载流子工艺、PMOS、NOMS、CMOS、BiMOS）具体有哪些差别？

能不能麻烦您帮忙讲一下？

lvfeihi

回复 4# ygchen2


    为了能够用TCAD对hall传感器进行仿真！