不联系代理和fab如何获得衬底的介电常数和电导率？

doghead

如题，手上有全的文档，ict itf都有（其中未提供substrate参数），而文档里提到电阻率在8.5-10.5这个范围，我想知道typical的值应该是多少？例如某工艺文档中提到8-12，typical就是10。另外硅片介电常数应该无意外的话都是11.9？我需要用这些参数来写EMX process file，目前就差衬底的参数，恳求论坛里的前辈们不吝赐教。

                               
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zhouyang2018

除非实际测试，衬底都有P外延，深度剂量都是定制的