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[求助] TSMC 18版图衬底接不上

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发表于 昨天 12:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
100资产


已经打了PIN脚了,但是N管衬底没接上,请求大佬指点


                               
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底下高亮红色部分n管加SP GuardRing就是没有接上的部分,只有第二个管接上了

                               
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LVS

发表于 昨天 13:54 | 显示全部楼层
修这个模块的LVS,我看网上的视频。是有一定的逻辑的。首先出现错误的是net:VSS。看左边,版图有15个net都连到VSS。看右边,原理图有16个net都连到VSS。
发表于 昨天 13:57 | 显示全部楼层
如果原理图没有问题,那就是版图上少连了一个VSS。看原理图中的M7、M8是否与版图一一对应。
 楼主| 发表于 昨天 14:17 | 显示全部楼层


bubushenghua 发表于 2025-6-29 13:54
修这个模块的LVS,我看网上的视频。是有一定的逻辑的。首先出现错误的是net:VSS。看左边,版图有15个net都 ...


n管只有第二个保护环里的衬底接上Vss了,其余的都接不上,用的都是一样的SP保护环。

衬底的电压是跟保护环里的一样的吧,只要套上了环应该就是接上了,别的我不知道该咋接
在版图设置未连线高亮,显示下面三组N管的Vss未连接(图一)
 楼主| 发表于 昨天 14:18 | 显示全部楼层


bubushenghua 发表于 2025-6-29 13:57
如果原理图没有问题,那就是版图上少连了一个VSS。看原理图中的M7、M8是否与版图一一对应。 ...


不止一个Vss吧。
n管只有第二组保护环里的衬底接上Vss了,其余的都接不上,用的都是一样的SP保护环。

衬底的电压是跟保护环里的一样的吧,只要套上了环应该就是接上了,别的我不知道该咋接
在版图设置未连线高亮,显示下面有三组N管的Vss未连接(图一)


发表于 昨天 14:20 | 显示全部楼层
那你把“三组N管的Vss”接上。
 楼主| 发表于 昨天 14:27 | 显示全部楼层


bubushenghua 发表于 2025-6-29 14:20
那你把“三组N管的Vss”接上。


不会接,不是默认套了SP环就接上了吗
 楼主| 发表于 昨天 14:37 | 显示全部楼层


bubushenghua 发表于 2025-6-29 14:20
那你把“三组N管的Vss”接上。


他是显示衬底和SP环没有接上
发表于 昨天 16:02 | 显示全部楼层
把M7的s与M8的s都接到Body P-plus pick up AA ring.
发表于 昨天 16:04 | 显示全部楼层


医栗鲨不白了 发表于 2025-6-29 14:37
他是显示衬底和SP环没有接上


从哪里看出来的
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