FIB与metal change的区别是啥

火星雨 · 发表于 4 天前

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FIB与metal change的区别是啥，是同一个东西吗？

happylly · 发表于 4 天前

FIB做的实际就是metal change，对硅片进行操作，切断金属或者连接金属
还有一种叫ECO，就是对设计进行修改，比如对某一层mask重新编辑进行流片。
ECO是要重新流片的，FIB不需要

522526tl · 发表于 4 天前

castrader · 发表于 4 天前

FIB只能对成品后的单颗芯片进行操作。
metal change或者说eco就是改版，修改加工版层来改变下一次流片整张wafer所有芯片。

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