FIB可以完成些什么操作？

火星雨 · 发表于 3 天前

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FIB，聚焦离子束。对芯片进行断开金属连接可以理解，连上金属又是咋回事呢？能用来制备电阻电容等器件吗？

soiee · 发表于 3 天前

可以形成金属连接，这叫 ion beam-induced deposition (IBID). 因此电阻电容都可以做-当然有一些局限性

火星雨 · 发表于 3 天前

soiee 发表于 2025-6-9 17:39
可以形成金属连接，这叫 ion beam-induced deposition (IBID). 因此电阻电容都可以做-当然有一些局限性 ...

做电阻电容的原理是什么呀？离子束也太神奇了吧。

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