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[求助] FIB可以完成些什么操作?

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发表于 3 天前 | 显示全部楼层 |阅读模式

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FIB,聚焦离子束。对芯片进行断开金属连接可以理解,连上金属又是咋回事呢?能用来制备电阻电容等器件吗?
发表于 3 天前 | 显示全部楼层
可以形成金属连接,这叫 ion beam-induced deposition (IBID). 因此电阻电容都可以做-当然有一些局限性
 楼主| 发表于 3 天前 | 显示全部楼层


soiee 发表于 2025-6-9 17:39
可以形成金属连接,这叫 ion beam-induced deposition (IBID). 因此电阻电容都可以做-当然有一些局限性 ...


做电阻电容的原理是什么呀?离子束也太神奇了吧。
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