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[求助] 关于Tsmc的电感自填充dm的若干问题,求各路大神解答

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发表于 昨天 18:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
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      最近在给自制的电感手填dummy,发现了一些难以找到答案的问题:


1.  dummy层和drawing层在制造上会有什么不同呢?dummy层的drc间距要求一般要比drawing层大,假如为了追求更高的密度,是否可以用drawing代替dummy呢?

2. 一般要怎么评估dummy对电感本身Q值参数的影响呢?

3. Tsmc对电感有专门的inddmy,但是我按照其库内的电感cell的做法,把inddmy相关的drc清除之后,还是会报inddmy内部的密度错误,往inddmy内部填dummy,drc更是报错说不能在inddmy内部填dm,这下一根筋变成两头堵了,这应该是最令我疑惑的问题(((φ(◎ロ◎;)φ))),我怀疑是drc内部有什么开关可以关闭,或者是要单独跟foundry联系?

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