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[求助] 关于容隔的问题,东部隔离电容器件相关

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发表于 2025-4-10 14:57:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
500资产
去年十月份东部更新了初版容隔工艺,由于是投片后才更新的工艺,投之前拿着东部给的rule自己造的隔离电容,更新PDK之后有了隔离电容器件并增加了几个HVCAP相关识别层,发现顶铝label在识别层内就识别不到了

另外还有一个问题,使用了隔离电容之后顶铝和次顶铝、次次顶铝会变厚,间距会拉开,通孔会变大,因为有不同的rule,所以不允许容隔项目用普通项目的via,但是东部却又说可以在同一个MPW的班车上同时造容隔项目和普通项目,他是怎么做到同一个wafer上做不同厚度的金属和不同厚度介质层呢?

HVCAP test layout

HVCAP test layout

customizatiom settings中选了use HVCAP的option

customizatiom settings中选了use HVCAP的option

lvs results extration results:unattached label

lvs results extration results:unattached label

lvs results comparison results:missing port

lvs results comparison  results:missing port

lvs rule file 中m6相关定义

lvs rule file 中m6相关定义

使用HVCAP之后介质层和金属层变厚,通孔变大

使用HVCAP之后介质层和金属层变厚,通孔变大
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