MIM电容电压效应的疑问

年轻人

有人了解tsmc180Gen2工艺的MIM电容吗。这张图是手册里标的。我有点没看懂电容值随电压变化的结果。按照这个公式算，已知 C0=1.99 fF/um2，VC1=7.7898 1/V，VC2=9.1979 1/V2，电压变化 dV=5−0=5 V。
C(5V)：C(5V)​=1.99×[1+7.7898×5+9.1979×(5)2]=1.99×[1+38.949+229.9475]=1.99×269.8965≈537.094 fF/um2​

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这也太离谱了吧，从0V到5V单位容值变化了几百倍。是我哪里理解错了吗？
就是想看一下mim电容的电压效应。

年轻人

顶顶顶顶顶顶顶顶顶顶

Luke_G

是不是漏了个10^-6或者10^-5 ?  你可以看一下model文件里面的计算公式

年轻人

Luke_G 发表于 2025-4-8 18:09
是不是漏了个10^-6或者10^-5 ?  你可以看一下model文件里面的计算公式

怎么看model文件里的公式 老哥

年轻人

Luke_G 发表于 2025-4-8 18:09
是不是漏了个10^-6或者10^-5 ?  你可以看一下model文件里面的计算公式

是仿真器的库文件吗，.scs

peterlin2010

some mim data


VC1(ppm/V) VC2(ppb/V 2 )


vc1 => ppm  

vc2 => ppb