1830BD15BA工艺，今天看到一个很让我困惑的PAD，请教各位大佬，非常感谢

骁可 · 发表于 2025-3-14 10:57:14

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我目前用的是我目前用的是1830BD15BA工艺，我看到一个很让我困惑的PAD，长这样，我在PDK库里没找到相似的，不知道是不是光照刻蚀的问题，想请教一下有哪位大佬清楚，非常感谢！！！

蒋赵威 · 发表于 2025-3-14 11:54:27

还有别的图吗，这是M几

骁可 · 发表于 2025-3-14 13:07:09

蒋赵威发表于 2025-3-14 11:54
还有别的图吗，这是M几

这是M3，M4顶层是这样的

蒋赵威 · 发表于 2025-3-14 14:19:36

下面有有器件吗？

骁可 · 发表于 2025-3-14 14:32:33

蒋赵威发表于 2025-3-14 14:19
下面有有器件吗？

不管底下有没有器件都是这样的PAD

蒋赵威 · 发表于 2025-3-14 14:42:29

骁可发表于 2025-3-14 14:32
不管底下有没有器件都是这样的PAD

那我也不清楚了

metotj · 发表于 2025-3-14 15:17:07

这不像电路，像是为均匀性做的pattern

骁可 · 发表于 2025-3-14 15:41:20

metotj 发表于 2025-3-14 15:17
这不像电路，像是为均匀性做的pattern

请教您一下，这种会是自己去改成这样的吗

wlwl127 · 发表于 2025-3-15 09:17:01

20年前的结构，目的是防止键合时将金属层拉开

骁可 · 发表于 2025-3-19 13:21:19

wlwl127 发表于 2025-3-15 09:17
20年前的结构，目的是防止键合时将金属层拉开

感谢

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