tsmc 40nm shrink 问题

zhangzch · 发表于 2025-2-18 19:26:51

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现已知TSMC-40nm是在45nm工艺的基础上shrink(*0.9)得来的。

那么我现在在TSMC-40nm中画了一个最小finger length=40nm的管子，layout中poly是40nm。

那么在流片时，这个40nm的poly就会被shrink到36nm吗？

zhangzch · 发表于 2025-2-18 19:38:59

https://bbs.eetop.cn/thread-907699-1-1.html
这个帖子里面也提到了类似的观点，希望有人可以解答一下

doghead · 发表于 2025-2-18 20:48:45

你可以看design rule，里面会写着poly的尺寸就是实际流片出来的尺寸

zhangzch · 发表于 2025-2-19 10:19:31

doghead 发表于 2025-2-18 20:48
你可以看design rule，里面会写着poly的尺寸就是实际流片出来的尺寸

design rule里提到了poly的宽度需要>=40nm

你是指这个规则吗？
design rule里面东西太多了，之前没看到过你提到的这点。

liamy2009 · 发表于 2025-2-19 11:59:32

前提是你最终流片是45nm还是40nm？

zhangzch · 发表于 2025-2-19 13:23:13

liamy2009 发表于 2025-2-19 11:59
前提是你最终流片是45nm还是40nm？

在mask tooling form这个流片前的文档中，显示是40nm的工艺。

但我看到整体芯片的长和宽都shrink(*0.9)了，那么岂不是poly也从40nm shrink到36nm了？

doghead · 发表于 2025-2-19 13:23:17

zhangzch 发表于 2025-2-19 10:19
design rule里提到了poly的宽度需要>=40nm

你是指这个规则吗？

你查看目录应该有shrink单独列出来的，找不到也没关系，你可以只需要知道poly不会shrink

zhangzch · 发表于 2025-2-19 13:27:02

doghead 发表于 2025-2-19 13:23
你查看目录应该有shrink单独列出来的，找不到也没关系，你可以只需要知道poly不会shrink
...

shrink的内容主要在design rule的第六章里面。

zhangzch · 发表于 2025-2-19 13:35:46

doghead 发表于 2025-2-19 13:23
你查看目录应该有shrink单独列出来的，找不到也没关系，你可以只需要知道poly不会shrink
...

poly不会shrink，这一点我是第一次听说，在design rule中还没看到过。

所以只有金属需要shrink吗？

doghead · 发表于 2025-2-19 17:10:40

本帖最后由 doghead 于 2025-2-19 17:13 编辑

zhangzch 发表于 2025-2-19 13:35
poly不会shrink，这一点我是第一次听说，在design rule中还没看到过。

所以只有金属需要shrink吗？

这个在SMIC 55nm的design rule里面是有的，不知道tsmc有没有

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