mask厂制造的PSM版漏光问题

YanChu123456

PSM版外围划片道区域二次曝光后有严重的漏光现象，这种情况是MASK厂制造版有问题吗？还是说外围划片道就不应该覆盖PSM层？

YanChu123456

问题已解决，PSM区域就是不能二次曝光。简单理解就是PSM区域的遮光层有少量透光率，二次曝光会叠加，导致本来的少量透光变成全透光的效果，然后该区域图形全部失效。